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‹È€å…‰ç…§ž®„次数对‹È€å…‰æ‰“å”çš„è´¨é‡ä¹Ÿæœ‰å½±å“å£è„‰å†²æ¿€å…‰æŸç…§å°„å·¥äšg表é¢ä¸€‹Æ¡ï¼ŒåŠ 工深度大约是å”径的5å€ï¼Œä½†é”¥åº¦è¾ƒå¤§ã€‚如果采用多‹Æ¡ç…§ž®„åŠ å·¥ï¼Œå”æ·±å¯ä»¥å¤§å¤§å¢žåŠ åQŒé”¥åº¦å¯ä»¥å‡ž®ï¼Œå”å¾„å‡ ä¹Žä¸å˜å£æ‰€ä»¥å¤š‹Æ¡ç…§ž®„å¯åŠ?T-出锥度å°çš„æ·±å”。多‹Æ¡ç…§ž®„的焦点ä½ç½®å®œå›ºå®šåœ¨å·¥äšg表é¢è€Œä¸å®œé€æ¸ä¸‹ç§»ã€?
‹È€å…‰æ‰“æ ‡æœºæ‰“å”çš„ç ”½I¶å¼€å§‹è¾ƒæ—©ï¼Œç›®å‰å·²æœ‰ä¸å°‘辑ֈ°å®žç”¨é˜¶æ®µã€‚例如,‹È€å…‰å¯¹é‡‘刚矛_’Œé’Ÿè¡¨çš„红å®çŸ³è½´æ‰¿æ‰“å”åQ›è„‰å†²æ‰“å”常用于微电(sh¨´)å技术ä¸åQŒå¦‚在ICç”?sh¨´)èµ\çš„èŠ¯ç‰‡ä¸Šæˆ–é ˜q‘芯片处打å°å”,˜q™äº›å”是用其他方法难以实现的ã€?nbsp;