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Z(jin)抑制杂散腐蚀Q实现微l电(sh)解加工,本文采用光纤Ȁ光表面工E技术,?04不锈钢表面直写扫描打标刻蚀图案Q进行表面改性,生成h耐腐蚀性保护掩膜,l合微细?sh)解加工Q生成复杂微l结?
研发的光U激光掩膜微l电(sh)解加工装|是光U激光表面改性模块与微细?sh)解加工模块安装在同一分L率ؓ(f)0Q?μm的三轴进l滑CQ解x光掩膜电(sh)解复合加工定位问?
Ȁ光制掩膜模块采用脉冲式输出的光纤Ȁ光器Q振镜光学振镜?
光纤Ȁ光器输出功率范围0?0WQ最激光光斑直径ؓ(f)10μmQ激光输出频率范??00kHzQ输出激光L?Q?64μm?
通过_֯Ȁ光器的光学聚焦系lŞ成直径很的Ȁ光焦点,l过_֯三坐标工作台、振镜能控制Ȁ光焦点在工g扫描路径Q在工g表面加工直写Q实现对工g表面加热区域的尺寸和形状严格控制Q进行激光表面改性处理,可以在工件上生成hҎ(gu)性质的复杂Ş状图案作为掩膜。由于采用的光纤Ȁ光功率小、脉冲性输出,脉冲宽度只有100nsQ所以激光扫描过的表面熔层很薄、热作用区很,生成亚微c掩膜保护?