?!DOCTYPE html>
在光U激光掩膜微l电(sh)解加工装|上q行加工试验研究。首先选用合适的Ȁ光参数对304不锈钢工件进行掩膜化处理?
已掩膜化处理过的样件在?sh)解槽内q行微细?sh)解加工试验Q不锈钢片状甉|作ؓ阴极工具甉|Q已l被Ȁ光掩膜处理过的不锈钢工g作ؓxQ数控系l工具甉|在不锈钢工g上方往复扫描进行电(sh)解加工,在电(sh)解加工过E中严格控制极间距离Q加工中加工间隙保持不变?
微细?sh)解加工参数Q电(sh)解液采用1.8mol/L酸钠溶Ԍ利用?sh)解液@环系l中的微型隔膜܇提供动力Q从喷嘴喷出高速流动的?sh)解Ԍ电(sh)解液流量?20mL/minQ快速冲走电(sh)解物,使电(sh)解加工顺利进行一ơ掩膜复合电(sh)解加工的型腔深度,可重复多ơ掩膜电(sh)解加工,加工的型腔深度显著提高。图8是经三次掩膜微细?sh)解加工的样Ӟ型腔深度U?3μmQ激光制掩膜扫描速度20mm/sQ且可同时加工多个样件。每一ơ掩膜后Q片状电(sh)极在已掩膜工件表面上方往复走2ơ扫描电(sh)解加工,再进入下一ơ激光扫描制掩膜图案