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¾~–辑   é‡åº†åˆåˆ»   å‘表äº?022-08-23

采用光学轮廓仪测é‡çš„型腔的åŞ貌图åQŒåŒ…括型腔的高度差ã€ç²—¾p™åº¦å’Œæˆªé¢è½®å»“等。从å›?å¯çŸ¥åQŒæ‰€åŠ å·¥çš„型腔侧å£è¾ƒé™¡ç›´ã€‚å¾®¾l†ç”µè§£åŠ å·¥çš„型腔表é¢å…‰æ»‘åQŒç»å…‰å­¦è½®å»“仪测é‡çš„加工表é¢çš„颾_—糙度Saå€égØ“0åQ?63μmåQŒç”µè§£è…蚀åŽçš„ä¸é”ˆé’¢è¡¨é¢ã€?


ç”׃ºŽç”‰|žæ‰«æ速度ä¸?00μm/såQŒä¸”无需制作微细æˆåž‹ç”‰|žåQŒæ‰€ä»¥åŠ å·¥æ¯ä¸ªåž‹è…”样件效率éžå¸”R«˜ã€‚该工艺在微‹¹é“ã€å¾®æ¨¡å…·åž‹è…”制作½{‰æ–¹é¢å…·æœ‰å¾ˆå¥½å‘展å‰æ™¯ã€?


åŸÞZºŽ‹È€å…‰è¡¨é¢æ”¹æ€§ï¼Œä¸Žå¾®¾l†ç”µè§£åŠ å·¥ç›¸¾l“åˆåQŒç ”å‘了‹È€å…‰æŽ©è†œå¾®¾l†ç”µè§£åŠ å·¥åã^åŽÍ¼ŒæŽ¢çƒ¦äº†æ¿€å…‰æŽ©è†œå¾®¾l†ç”µè§£åŠ å·¥æœºç†ã€‚首å…?a target="_blank" >利用光纤‹È€å…‰åœ¨304ä¸é”ˆé’¢è¡¨é¢æ‰“æ ?/a>åQŒè¿›è¡Œè¡¨é¢æ”¹æ€§ï¼Œç”Ÿæˆäº†å…·æœ‰è€è…蚀性Feã€Cr氧化物掩膜层åQŒå†åˆ©ç”¨‹È€å…‰æŽ©è†œå±‚在微¾l†ç”µè§£åŠ å·¥ä¸­åšæŽ©è†œä¿æŠ¤å±‚实现微细加工ã€?


加工试验¾l“æžœè¯æ˜Ž‹È€å…‰æŽ©è†œå¾®¾l†ç”µè§£å¤åˆåŠ å·¥å·¥è‰ø™ƒ½å¿«é€ŸåŠ å·¥å‡ºå¾®ç»†¾l“æž„åQŒè¯¥å·¥è‰ºåœ¨å¾®¾l†åŠ å·¥é¢†åŸŸå…·æœ‰å¾ˆå¥½çš„å‘展å‰æ™¯ã€?