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采用光å¦è½®å»“仪测é‡çš„型腔的åŞ貌图åQŒåŒ…括型腔的高度差ã€ç²—¾p™åº¦å’Œæˆªé¢è½®å»“ç‰ã€‚从å›?å¯çŸ¥åQŒæ‰€åŠ 工的型腔侧å£è¾ƒé™¡ç›´ã€‚å¾®¾l†ç”µè§£åŠ 工的型腔表é¢å…‰æ»‘åQŒç»å…‰å¦è½®å»“仪测é‡çš„åŠ å·¥è¡¨é¢çš„颾_—糙度Saå€égØ“0åQ?63μmåQŒç”µè§£è…蚀åŽçš„ä¸é”ˆé’¢è¡¨é¢ã€?
ç”׃ºŽç”‰|žæ‰«æ速度ä¸?00μm/såQŒä¸”æ— éœ€åˆ¶ä½œå¾®ç»†æˆåž‹ç”‰|žåQŒæ‰€ä»¥åŠ å·¥æ¯ä¸ªåž‹è…”æ ·ä»¶æ•ˆçŽ‡éžå¸”R«˜ã€‚该工艺在微‹¹é“ã€å¾®æ¨¡å…·åž‹è…”制作½{‰æ–¹é¢å…·æœ‰å¾ˆå¥½å‘展å‰æ™¯ã€?
åŸÞZºŽ‹È€å…‰è¡¨é¢æ”¹æ€§ï¼Œä¸Žå¾®¾l†ç”µè§£åŠ 工相¾l“åˆåQŒç ”å‘了‹È€å…‰æŽ©è†œå¾®¾l†ç”µè§£åŠ å·¥åã^åŽÍ¼ŒæŽ¢çƒ¦äº†æ¿€å…‰æŽ©è†œå¾®¾l†ç”µè§£åŠ 工机ç†ã€‚首å…?a target="_blank" >利用光纤‹È€å…‰åœ¨304ä¸é”ˆé’¢è¡¨é¢æ‰“æ ?/a>åQŒè¿›è¡Œè¡¨é¢æ”¹æ€§ï¼Œç”Ÿæˆäº†å…·æœ‰è€è…蚀性Feã€Cr氧化物掩膜层åQŒå†åˆ©ç”¨‹È€å…‰æŽ©è†œå±‚在微¾l†ç”µè§£åŠ å·¥ä¸åšæŽ©è†œä¿æŠ¤å±‚å®žçŽ°å¾®ç»†åŠ å·¥ã€?
åŠ å·¥è¯•éªŒ¾l“æžœè¯æ˜Ž‹È€å…‰æŽ©è†œå¾®¾l†ç”µè§£å¤åˆåŠ 工工è‰ø™ƒ½å¿«é€ŸåŠ 工出微细¾l“æž„åQŒè¯¥å·¥è‰ºåœ¨å¾®¾l†åŠ 工领域具有很好的å‘展å‰æ™¯ã€?